沸石转轮设备处理组成单元如下:
(1)沸石转轮的机体是由一些特定的固体基材涂布上一层吸附剂粉末组成,基材是以陶瓷或玻璃或活性碳纤维经烧结所做成,其中陶瓷纤维因具备耐高温、热稳定性高、可水洗、不可燃及耐酸碱的特性而最受广泛使用,吸附剂的种类则视欲处理的气体成分而有所不同,一般可采用活性炭、沸石等。转轮厚度一般为25cm-45cm。
(2)沸石转轮之基质为陶瓷纤维表面涂布一层吸附剂,一般为活性炭或疏水性沸石,制成蜂巢状圆形转轮,再分为两个区域,分别为吸附处理区及再生脱附区,但为提升转轮之吸附能力,有时会设计于两区之间多一个冷却区,通常吸附区较大,脱附区与冷却区为两个较小且面积相等之处理区域。
(3)热回收设备:将VOCs燃烧或氧化后之干净空气其温度高达500-700℃,将此部分空气经由热交换器将热能加以回收,同时将干净空气温度降低后将其导至转轮脱附区为转轮进行脱附作用;若温度太高则转轮可能发生燃烧,因此进入转轮之温度不可太高,一般会设置两段热回收设备并增设一鼓风机导入新鲜空气与燃烧后之空气混合,以控制脱附温度在180-220℃之范围内。为处理VOCs废气,除了沸石吸附浓缩转轮焚化系统外,并可在制程端如光阻涂布机台或去光阻制程废气出口端加装冷凝器,预先分流处理高沸点VOCs(如MEA、BDG、DMSO)
沸石转轮系统的组成
沸石吸附浓缩转轮焚化系统系利用吸附-脱附-浓缩焚化等三项连续程序,其设备特性适合处理高流量、低污染物浓度及含多物种之VOCs 废气,其主要应用于排放较稀薄且接近周界温度之污染物工业,典型应用如影印、涂装制程及半导体工厂等相关产业。
若无法确认VOCs废气中是否有其他废气混入或含有较多量之高沸点物质,欲应用沸石吸附浓缩系统控制,建议:
1:设置颗粒物过滤设备。
2:定期以清洁水保养清洗。能承受水洗程序处理之转轮,可依厂内所处理之废气所含高沸点VOCs物质浓度状况,适时以洁净水清洗沸石吸附转轮。
唯清洗时须特别注意水质状况,若其中含有大量钙、镁等离子,将可能会在沸石内生成碳酸盐或碳酸氢盐,阻塞沸石之蜂巢状孔隙;而水中之氯仿可能占据沸石内吸附位置,阻碍处理废气内所含VOCs之吸附性能,此外水中所含微量之重金属物质亦会毒化沸石,这将随着清洗次数及水质水量状况而有不同之影响;为克服沸石吸附转轮之蜂巢状孔道及其结构使得一般清洗水无法深入转轮内部,有研究采用如下的清洗程序。
利用高压喷嘴将清洗水形成微细雾滴状,并以系统冷却端之干净空气为载流,先将微细雾滴状之清水携入沸石孔道内实施逆洗程序后,再从另一边之吸附端吸入干净空气汇流,除可将附着于沸石内部之水气携出视为第二道清洗外,亦可完成沸石干燥之程序,如此两阶段之清洗转轮,其耗水量经统计可为以往传统方式之20%至30%,能大幅降低废水量,故可在成本考量下顺利、有效进行沸石转轮之清洗。
3:于操作程序中提高脱附热容量。
除于系统前增设预处理系统、定期实施水洗保养程序外,亦可藉由提升脱附热容量之日常操作参数改善高沸点VOCs对系统所造成之影响,其施行之方法可利用提高再生温度及提高再生风量来达成。微信扫一扫
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